| 发明名称 | 光罩位置检测 | ||
| 摘要 | 一种系统包括：转移臂，其界定一固持平面；以及至少三个传感器，其安置于转移臂上且用于检测光罩相对于固持平面之位置。该至少三个传感器可用于判定光罩是否正确地定位于转移臂上以及判定光罩是否正确地定位于屏蔽位置。可在离子注入机中使用光罩来屏蔽工件之一些部分使其免受离子注入。 | ||
| 申请公布号 | CN101563767A | 申请公布日期 | 2009.10.21 |
| 申请号 | CN200780042842.1 | 申请日期 | 2007.09.21 |
| 申请人 | 瓦里安半导体设备公司 | 发明人 | 查理斯·A·泰欧多尔赤克;詹姆斯·R·麦克廉;罗伯特·A·波特崔斯 |
| 分类号 | H01L21/67(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/67(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 | 代理人 | 臧建明 |
| 主权项 | 1.一种系统，包括：转移臂，其界定一固持平面；以及至少三个传感器，其安置于所述转移臂上且用于检测光罩相对于所述固持平面的位置。 | ||
| 地址 | 美国麻萨诸塞州 | ||