| 摘要 |
1. Источник ионов, содержащий: ! плазменную генераторную камеру; ! ограждающую стенку, выполненную из диэлектрического материала и ограничивающую упомянутую плазменную генераторную камеру; ! высокочастотную антенну, установленную на внешней поверхности упомянутой ограждающей стенки и генерирующую плазму в упомянутой плазменной генераторной камере; и ! конструкцию, установленную внутри упомянутой плазменной генераторной камеры, при этом упомянутая конструкция выполнена из диэлектрического материала и ограничивает осаждение на внутренней поверхности упомянутой ограждающей стенки, находящейся перед упомянутой высокочастотной антенной. ! 2. Источник ионов по п.1, в котором упомянутая конструкция представляет собой защитный корпус, выполненный из диэлектрического материала, покрывающий внутреннюю поверхность упомянутой ограждающей стенки и содержащий, по меньшей мере, одну прорезь, сформированную в направлении, пересекающем направление намотки упомянутой высокочастотной антенны. ! 3. Источник ионов по п.2, в котором упомянутый защитный корпус установлен около внутренней поверхности упомянутой ограждающей стенки. ! 4. Источник ионов по п.1, в котором упомянутая конструкция представляет собой выступ или углубление, сформированный(ное) на, по меньшей мере, одной части внутренней поверхности упомянутой ограждающей стенки и продолженный(ное) в направлении, пересекающем направление намотки упомянутой высокочастотной антенны. ! 5. Источник ионов по п.1, в котором упомянутая конструкция содержит: ! выступ или углубление, сформированный(ное) на, по меньшей мере, одной части внутренней поверхности упомянутой огражд� |
