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发明名称 LEAK DETECTOR SYSTEM AND METHOD FOR VACUUM PUMPING LEAK DETECTOR
摘要
申请公布号 HK1084562(A1) 申请公布日期 2009.10.16
申请号 HK20060103049 申请日期 2006.03.09
申请人 VARIAN, INC. 发明人 LIEPERT, ANTHONY
分类号 F04B39/00;F04B39/08;F04B39/10;F04B39/12;F04B45/00;F04B49/00;F04C;F04C18/02;F04C18/16;F04C23/00;F04C29/12;G01M 主分类号 F04B39/00
代理机构 代理人
主权项
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