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Ein Verfahren dient zum tomographischen Vermessen von mechanischen Werkstücken (10). Bei dem Verfahren werden das Werkstück (10) und eine das Werkstück (10) durchdringende Strahlung (24) schrittweise relativ zueinander bewegt. Aus der Wechselwirkung von Werkstück (10) und Strahlung (24) wird in jeder Bewegungsstellung des Werkstücks (10, 10') ein zweidimensionales Abbild (50, 50') des Werkstücks (10, 10') in einer Abbildungsebene erzeugt und aus den zweidimensionalen Abbildern (50, 50') ein dreidimensionales Ist-Abbild des Werkstücks (10) errechnet. Aus mindestens zwei in zwei unterschiedlichen Bewegungsstellungen erzeugten zweidimensionalen Abbildern (50, 50') einer innerhalb des Werkstücks (10, 10') vorhandenen, regelmäßigen Ist-Struktur (12, 12') werden Punkte (52a, 52a', 52b, 52b', 52c, 52c') an einem kontrastreichen Übergang in den zweidimensionalen Abbildern (50, 50') erfasst, aus der Lage der Punkte (52a, 52a', 52b, 52b', 52c, 52c') ein dreidimensionaler Ausgleichskörper (64) bestimmt und dieser mit einer vorgegebenen Soll-Struktur verglichen (Figur 3B). |
