| 发明名称 | 水溶性负性光敏聚酰胺酸盐及其制备与显影方法 | ||
| 摘要 | 本发明涉及水溶性负性光敏聚酰胺酸盐及其制备与显影方法。本发明的目的在于提供一种可用水做溶剂和显影剂的负性光敏聚酰胺酸盐及其制备与显影方法。本发明所提供的水溶性负性光敏聚酰胺酸盐的化学结构式如式(1)中所示。本发明通过将ODA与MA封端反应后，加入二酐聚合，而后加入DMAMA和DMEA作为成盐剂，将所得溶液提纯、干燥，得到水溶性负性光敏聚酰胺酸盐。本发明通过将聚酰胺酸盐制备涂膜溶液，涂膜，曝光，显影，热固化，得到图案化聚酰亚胺薄膜。本发明具有反应步骤简单，成本低，显影过程环保，图像分辨率高的优点。 | ||
| 申请公布号 | CN101555318A | 申请公布日期 | 2009.10.14 |
| 申请号 | CN200910084371.1 | 申请日期 | 2009.05.22 |
| 申请人 | 北京化工大学 | 发明人 | 武德珍;魏小尉;齐胜利;吴战鹏 |
| 分类号 | C08G73/16(2006.01)I;G03F7/30(2006.01)I | 主分类号 | C08G73/16(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京思海天达知识产权代理有限公司 | 代理人 | 沈 波 |
| 主权项 | 1、一种水溶性负性光敏聚酰胺酸盐，其特征在于，所述的聚酰胺酸盐的化学结构式如式(1)中所示： | ||
| 地址 | 100029北京市朝阳区北三环东路15号 | ||