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Polishing composition and polishing method using the same
摘要
申请公布号
GB2419134(B)
申请公布日期
2009.10.14
申请号
GB20050017939
申请日期
2005.09.05
申请人
FUJIMI INCORPORATED
发明人
KENJI SAKAMOTO
分类号
C09G1/02;B24B37/00;C09K3/14;H01L21/304;H01L21/306
主分类号
C09G1/02
代理机构
代理人
主权项
地址
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