发明名称 |
等离子体处理装置及其密封结构、密封方法 |
摘要 |
本发明提供等离子体处理装置及其密封结构、密封方法。该装置的密封结构能使等离子体稳定,防止密封构件老化。密封等离子体产生室(2)的开口部的闸阀包括阀体(16)、阀杆(17)和密封阀体与等离子体产生室的间隙的环状密封构件(11、12)。密封构件(11)位于等离子体产生室侧,直接接触等离子体气体介质。密封构件(11)与密封构件(12)不接触,存在间隙(S)。阀体沿密封构件(11)长度方向有多个气体槽(13)。气体槽位于与密封构件(11)的长度方向大致正交的方向上,连通间隙和等离子体产生室。在等离子体产生室的壁上设有向间隙注入气体的气体注入通路(14)。设有沿密封构件(11)长度方向连续的凹部(15),将气体注入通路的气体排出口和凹部连结。 |
申请公布号 |
CN101556909A |
申请公布日期 |
2009.10.14 |
申请号 |
CN200910129409.2 |
申请日期 |
2009.03.18 |
申请人 |
东京毅力科创株式会社 |
发明人 |
石桥清隆;岸田好晴 |
分类号 |
H01L21/00(2006.01)I;H01L21/20(2006.01)I;H01L21/3065(2006.01)I;H01L21/31(2006.01)I;H01L21/311(2006.01)I;C23C16/00(2006.01)I;H05H1/24(2006.01)I |
主分类号 |
H01L21/00(2006.01)I |
代理机构 |
北京林达刘知识产权代理事务所 |
代理人 |
刘新宇;张会华 |
主权项 |
1.一种等离子体处理装置的密封结构,其用于密封进行等离子体处理的等离子体产生室的开口部,其特征在于,该等离子体处理装置的密封结构包括:第1密封构件,其为环状,与上述等离子体产生室的等离子体气体介质接触;第2密封构件,其为环状,不与上述等离子体产生室的等离子体气体介质接触;间隙,其位于上述第1密封构件与上述第2密封构件之间;气体注入口,其用于向上述间隙中注入惰性气体;槽,其沿着与上述第1密封构件的长度方向大致正交的方向形成在与上述第1密封构件相邻接的面上,用于连通上述等离子体产生室和上述间隙。 |
地址 |
日本东京都 |