药液供给装置

摘要

本发明提供了一种药液供给装置，该装置能够高精度地喷出药液，并且能够监测非压缩性介质是否从活塞和汽缸之间泄漏。泵(11)具有将泵室(17)和驱动室(18)隔开的柔性管(16)，通过在汽缸(12)的汽缸孔(33)内往复运动的活塞(34)将非压缩性介质(38)供给到驱动室(18)内。波纹管罩(64)设置在活塞(34)和汽缸(12)之间，由波纹管罩(64)形成与活塞(34)的滑动面相连的密封室(63)。为了对封入到密封室(63)内的密封用非压缩性介质(38a)的压力进行检测，将密封室压力传感器(71)安装在密封室内，通过对密封室内的压力进行检测可以判断密封材料(69)的劣化程度。

主权项

1、一种药液供给装置，该装置包括泵，该泵设置有用于将与液体流入口和流出口连通的泵室和驱动室隔开且可自由弹性变形的分隔膜，其特征在于，所述装置还包括：汽缸，该汽缸安装有用于向所述驱动室供给或从所述驱动室排出非压缩性介质的可自由往复运动的活塞，并且所述汽缸具有用于使所述活塞的滑动面进行滑动的滑动面；驱动装置，该驱动装置用于使所述活塞在轴向往复运动，以通过所述非压缩性介质使所述泵室膨胀收缩；以及弹性变形部件，该弹性变形部件可自由弹性变形，且设置在所述活塞和所述汽缸之间，所述弹性变形部件在与所述活塞的滑动面相连的同时形成封入有非压缩性介质的密封室。