真空加工设备

摘要

在此公开了一种真空加工设备，用于在其中建立真空环境之后对基板执行所需工艺。更具体而言，所述真空加工设备包括真空室，该真空室分为室体和上盖。所述上盖配置成容易从室体打开以及关闭到室体。

主权项

1.一种加工设备，其包括：室体，其具有用于使基板能够进行装载和卸载的闸式阀；以及可分离地设置在所述室体上的上盖，所述加工设备进一步包括：室体提升装置，其安装在所述室体的下表面，并且适于竖直移动所述室体；以及水平驱动装置，其安装在所述上盖的外表面，并且适于在将所述上盖支撑在一预定高度的同时水平移动所述上盖。