清洗液以及移除电浆制程后之残余物的方法

摘要

一种移除电浆制程后之残余物的方法，先提供一基底，基底上至少已形成有一材料层，材料层的材质包括金属。然后，进行含氟电浆制程，于材料层表面产生含有前述金属之残余物。继而使用清洗液进行一湿式清洗步骤，以移除残余物，清洗液是由水、稀释的氢氟酸与酸溶液所组成的。

主权项

一种清洗液，适于移除包含有氟化钛之一化合物，该清洗液包括：氢氟酸以外之一酸溶液，该酸溶液占清洗液的重量百分比大于等于1%；一稀释的氢氟酸，该稀释的氢氟酸之浓度大于等于30ppm；以及水。