| 发明名称 |
包含电子放电产生器之微影装置及清理微影装置之元件之方法 |
| 摘要 |
本发明系关于一种清理一微影装置之元件(例如，诸如一集光器镜之光学元件)的方法，其包含提供一含氮气体；自该气体之至少一部分产生氮自由基，藉此形成一含自由基气体；及提供该含自由基气体之至少一部分至该装置的一或多个元件。一微影装置包含一发射源及一光学元件，及一经配置以产生一射频放电之电子放电产生器。 |
| 申请公布号 |
TWI315681 |
申请公布日期 |
2009.10.11 |
| 申请号 |
TW095132583 |
申请日期 |
2006.09.04 |
| 申请人 |
ＡＳＭＬ公司 |
发明人 |
泰坦雅 维多罗娜 洛希墨瓦;凡丁 叶弗真叶米希 白尼;强尼斯 贺伯特斯 莎菲纳 摩斯;法拉帝莫 维塔拉维屈 依法诺;康士坦汀 尼可拉威屈 卡士李;亚历山大 瑟吉维奇 柯瓦利;多明特瑞 维多罗娜 罗佩孚 |
| 分类号 |
B08B3/00;H01L21/00 |
主分类号 |
B08B3/00 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
陈长文 |
| 主权项 |
一种清理一微影装置之一或多个元件之方法，其包括：提供一含氮气体；自该气体之至少一部分产生氮自由基，藉此形成一含自由基气体；提供该含自由基气体的至少一部分至该装置之该一或多个元件。 |
| 地址 |
荷兰 |
