Mikromechanischer Beschleunigungssensor

摘要

Mikromechanischer Beschleunigungssensor, umfassend zumindest ein Substrat (1), einen oder mehrere Rahmen (2, 2a, 2b), von denen wenigstens ein erster Rahmen (2, 2b) mittels zumindest eines Federelements (3, 3b) direkt oder indirekt am Substrat (1) aufgehängt ist und bei Einwirkung zumindest einer ersten Beschleunigung gegenüber dem Substrat (1) ausgelenkt wird, und zumindest eine erste seismische Masse (9, 9a), welche mittels wenigstens eines Federelements (7, 7a) an dem ersten (2, 2b) oder einem zusätzlichen Rahmen (2a) aufgehängt ist und bei Einwirkung einer, insbesondere von der ersten Beschleunigung verschiedenen, Beschleunigung gegenüber diesem Rahmen (2, 2a) ausgelenkt wird.