发明名称 SYSTEM ZUR ABGABE EINES ULTRAREINEN CHEMISCHEN STOFFES
摘要
申请公布号 DE60233501(D1) 申请公布日期 2009.10.08
申请号 DE2002633501 申请日期 2002.07.12
申请人 L'AIR LIQUIDE, SOCIETE ANONYME POUR L'ETUDE ET L'EXPLOITATION DES PROCEDES GEORGES CLAUDE 发明人 XU, MINDI;SAYASANE, TAY;PAGANESSI, JOSEPH E.;JURSICH, GREGORY M.;HONDA, LORRIN Y.;NAKAMOTO, NAOUYKI;NISHIKAWA, YUKINOBU;DULPHY, HERVE E.;RAMEAU, GUILLAUME
分类号 B01D19/00;C23C16/448;B01J4/00;B08B9/02;B67D7/76;B67D99/00;C03B19/14;C03B37/014;C03B37/018;F17C9/02;H01L21/31 主分类号 B01D19/00
代理机构 代理人
主权项
地址