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发明名称 FABRICATION METHOD OF CATALYST-LESS COBALT NANO-RODS BY PLASMA-ENHANCED ATOMIC LAYER DEPOSITION AND A SEMICONDUCTOR ELEMENT
摘要
申请公布号 KR100920456(B1) 申请公布日期 2009.10.08
申请号 KR20070100430 申请日期 2007.10.05
申请人 发明人
分类号 H01L21/20 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
主权项
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