具影像对位系统及雷射光清洁装置之探针动态阻抗量测机

摘要

本创作系有关一种具影像对位系统及雷射清洁装置之探针动态阻抗量测机，其主要是用以量测半导体集成电路测试治具中探针之弹力、动态阻抗及负载能力是否正常者。该探针动态阻抗量测机系同时建置高精度三轴移动平台、高速影像处理系统及雷射光清洁装置为一体，迅速截取探针头部影像及自动进行探针头部中心点对位，并利用电脑进行系统连结及测试数据之比对，可大幅提升量测之精确度及节省操作人力、时间与成本者。

主权项

一种具影像对位系统及雷射光清洁装置之探针动态阻抗量测机，其包括；一X-Y轴移动平台，使欲量测之测试治具装设于该X-Y轴移动平台上而可纵向或横向移动者；一Z轴移动臂，其系安装于X-Y轴移动平台上方，该Z轴移动臂底部分别装设一用以量测测试治具中探针之阻抗、弹力及负载之探棒及一用以截取探针头部影像及对位之CCD摄影机；一雷射脉冲光产生机，其系安装于X-Y轴移动平台行程范围内而可以雷射脉冲光清除探针头表面沾污；一负责各系统连结与资料传递之电脑，其内建影像处理及探针头对位软体量测数据比对软体，并可藉由LCD显示器显示探针头影像及藉由印表机输出该量测比对数据及曲线图表者；由上述元件组成之动态阻抗量测机，其特征在于：该固定于X-Y轴移动平台上之测试治具移动至Z轴移动臂下方时，可藉由CCD摄影机执行影像截取及探针头部对位并进行偏移修正，此时Z轴移动臂下降，使其底部之量测探棒与测试治具中之探针头接触，以量测探针之阻抗、弹力及负载能力，而判定为不合格之探针将自动移动至雷射脉冲光产生机下方清洁探针头，再返回重新量测，探针完成判定为合格品之量测或不合格品完成第二次量测后，X-Y轴移动平台可移动至下一探针量测位置以继续量测者。