排气设备

摘要

一种排气设备系包括一旋转轴、一排气机组以及一排气头。旋转轴系具有一第一轴部以及一第二轴部，其中第一轴部系相对于第二轴部旋转；排气机组系组设于旋转轴之第一轴部，且排气机组具有一第一导管；排气头系至少具有一第一夹持部及一第二夹持部，第一夹持部及第二夹持部系与排气机组之第一导管连接。

主权项

一种排气设备，系应用于至少一灯管的真空制程，该排气设备包含：一旋转轴，其系具有一第一轴部以及一第二轴部，该第一轴部系相对于该第二轴部旋转；一排气机组，系组设于该旋转轴之该第一轴部，且该排气机组具有一第一排气机及一第一导管相互连接；以及一排气头，至少具有一第一夹持部及一第二夹持部，该第一夹持部及该第二夹持部系与该排气机组之该第一导管连接。