发明名称 基板洗净用喷嘴
摘要
申请公布号 TWD131220 申请公布日期 2009.10.01
申请号 TW097306709 申请日期 2008.11.26
申请人 水科学股份有限公司 发明人 森平恭太
分类号 15-99 主分类号 15-99
代理机构 代理人 洪武雄;陈昭诚
主权项
地址 日本