| 发明名称 | 靶材与背板的焊接方法 | ||
| 摘要 | 一种靶材与背板的焊接方法，包括：提供钽靶材和背板；并对其表面进行机械加工以及化学清洗；采用热压处理，在真空环境下进行焊接作业，将钽靶材焊接至背板形成靶材组件；在真空常压环境下对靶材组件进行热扩散处理，然后空冷。本发明采用真空套包实现靶材与背板真空条件下的热压焊接，有效防止金属的焊接面被氧化，并降低了真空设备成本；另一方面，提供了较大的正向压力，进一步地促使靶材钽靶材与背板之间的结合强度提高。 | ||
| 申请公布号 | CN101543937A | 申请公布日期 | 2009.09.30 |
| 申请号 | CN200910127249.8 | 申请日期 | 2009.03.12 |
| 申请人 | 宁波江丰电子材料有限公司 | 发明人 | 姚力军;王学泽;陈勇军;刘庆 |
| 分类号 | B23K20/14(2006.01)I;B23K20/24(2006.01)I;C23G1/10(2006.01)I;C23G5/02(2006.01)I;B23K20/02(2006.01)I;C23C14/34(2006.01)I;B23K103/08(2006.01)N;B23K103/18(2006.01)N;B23K103/12(2006.01)N;B23K103/10(2006.01)N | 主分类号 | B23K20/14(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人 | 李 丽 |
| 主权项 | 1. 一种靶材与背板的焊接方法，其特征在于，包括：提供钽靶材和背板；采用热压处理，在真空环境下进行焊接作业，将钽靶材焊接至背板形成靶材组件；在真空常压环境下对靶材组件进行热扩散处理，然后空冷冷却。 | ||
| 地址 | 315400浙江省余姚市阳明科技工业园区江丰路1号 | ||