探针卡的制造方法及其装置

摘要

本发明一种探针卡的制造方法，是于一具有多个电路层的电路板外围凹陷形成一凹室，接着分别设置多个焊垫与多个探针于电路板之上、下表面，再将一传输线的一端伸入凹室中与其中一焊垫电性连接，而将传输线的另一端穿出凹室而与其中一探针电性连接；通过此，依照本发明所制成的探针卡可维持有高频信号传输的阻抗匹配特性，并具有良好的电性测试质量。而探针卡装置是依探针卡的制造方法制作而成。

主权项

1. 一种探针卡的制造方法，其特征在于包含有下列步骤：a. 备制一具有多个电路层的电路板；b. 于该电路板的所述电路层凹陷形成一位于该电路板外围的凹室；c. 设置多个焊垫于该电路板的上表面；d. 设置多个探针于该电路板的下表面；以及e. 备制多条传输线，将各该传输线的一端伸入该凹室中与其中一该焊垫电性连接，将另一端穿出该凹室而与其中一该探针电性连接。