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发明名称
POLISHING SYSTEM COMPRISING A HIGHLY BRANCHED POLYMER
摘要
申请公布号
EP1702015(B1)
申请公布日期
2009.09.30
申请号
EP20050705006
申请日期
2005.01.05
申请人
CABOT MICROELECTRONICS CORPORATION
发明人
MOEGGENBORG, KEVIN;SUN, FRED
分类号
C09G1/00;C09G1/02
主分类号
C09G1/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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