采用线性真空计测量小孔流导的装置及方法

摘要

采用线性真空计测量小孔流导的装置由待测小孔、真空阀门、线性真空计、标准容器、微调阀、稳压室、气瓶、真空泵组成，真空泵与待测小孔的一端连接，待测小孔接至真空阀门，同时真空阀门与标准容器连接，标准容器又通过微调阀与稳压室连接，微调阀接至气瓶，线性真空计接在标准容器上，真空阀门一端接在标准容器和稳压室上；采用线性真空计测量小孔流导的方法，将一恒定流量的单一气体引入容积为V的标准容器中，部分气体就会通过待测流导为C的小孔流出标准容器；用线性真空计测量标准容器内的初始压力p₁，经过时间t后，测量标准容器内的压力p₂，测量标准容器内的动态平衡压力p₀，则小孔流导C就等于(V/t)ln((1-(p₁/p₀))/(1-(p₂/p₀)))。本发明提高了小孔流导的测量精度，使测量结果的合成标准不确定度小于0.3％。

主权项

1、采用线性真空计测量小孔流导的装置，其特征在于包括：待测小孔(1)、三个真空阀门(2、9、11)、线性真空计(3)、标准容器(4)、两个微调阀(5、7)、稳压室(6)、气瓶(8)、两个真空泵(10、12)，第一真空泵(12)与待测小孔(1)的一端连接，待测小孔(1)的另一端接至第一个真空阀门(2)，第一个真空阀门(2)与标准容器(4)的一端连接，标准容器(4)的另一端通过第一个微调阀(5)与稳压室(6)连接，稳压室(6)再通过第二个微调阀接至气瓶(8)，线性真空计(3)接在标准容器(4)上，第二真空阀门(9)和第三真空阀门(11)的一端分别接在标准容器(4)和稳压室(6)上，另一端并接后接至第二真空泵(10)；所述的标准容器(4)、稳压室(6)及连接管道中的本底压力小于1×10-3Pa；所述的稳压室的容积满足流导测量过程中稳压室中压力变化小于0.01％；所述的气瓶(8)中充有单一气体。