INTEGRATED INTRA-BAY TRANSFER, STORAGE AND DELIVERY SYSTEM,申请号EP19990966286-传众专利搜索

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法人/股东/高管

发明名称	INTEGRATED INTRA-BAY TRANSFER, STORAGE AND DELIVERY SYSTEM
摘要
申请公布号	EP1159212(A4)	申请公布日期	2009.09.30
申请号	EP19990966286	申请日期	1999.12.15
申请人	ASYST TECHNOLOGIES, INC.	发明人	BONORA, ANTHONY, C.;GOULD, RICHARD, H.;BRAIN, MICHAEL, D.;ADAMS, DAVID, V.
分类号	B65G47/46;H01L21/00;B65G1/00;B65G19/02;B65G47/90;B65G49/07;G01N35/04;H01L21/677	主分类号	B65G47/46
代理机构		代理人
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