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发明名称
Kontaktlithographievorrichtung, -System und -Verfahren
摘要
申请公布号
DE112007002430(T5)
申请公布日期
2009.09.24
申请号
DE200711002430T
申请日期
2007.10.12
申请人
HEWLETT-PACKARD DEVELOPMENT COMPANY, L.P.
发明人
WU, WEI;WANG, SHIH-YUAN;LI, ZHIYONG;WALMSLEY, ROBERT
分类号
G03F7/00;G03F7/20
主分类号
G03F7/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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