| 发明名称 |
VERFAHREN ZUM HERSTELLEN EINER MIKROMECHANISCH BEARBEITETEN STRUKTUR |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE60042757(D1) |
申请公布日期 |
2009.09.24 |
| 申请号 |
DE20006042757 |
申请日期 |
2000.09.25 |
| 申请人 |
ION GEOPHYSICAL CORP. |
发明人 |
YU, LIANZHONG;GOLDBERG, HOWARD D.;YU, DULI |
| 分类号 |
B44C1/22;G02B26/10;B81B3/00;B81B7/00;B81C1/00;B81C99/00;C23F1/02;G01P9/04;G02B26/08;G03F7/00;G03F7/20;H01L21/306 |
主分类号 |
B44C1/22 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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