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发明名称
摘要
申请公布号	JP2009533903(A)	申请公布日期	2009.09.17
申请号	JP20090504482	申请日期	2007.04.05
申请人		发明人
分类号	H03H11/04;H01L21/822;H01L27/04	主分类号	H03H11/04
代理机构		代理人
主权项
地址

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