| 发明名称 | 具有导电机械停止器的MEMS微开关 | ||
| 摘要 | 本发明涉及一种具有导电机械停止器的MEMS微开关。MEMS开关30、50、60、70、80包含衬底32、耦接到该衬底32的活动致动器53、63、83，衬底接触35、85，衬底电极36、56、86，和电耦接到该活动致动器33、63、83并被构造为防止该活动致动器33、63、83与衬底电极36、56、86接触，但允许该活动致动器33、63、83与衬底接触35、85形成接触的导电停止器39、59、69、79。 | ||
| 申请公布号 | CN101533740A | 申请公布日期 | 2009.09.16 |
| 申请号 | CN200810188424.X | 申请日期 | 2008.12.22 |
| 申请人 | 通用电气公司 | 发明人 | X·王;K·苏布拉马尼安;C·F·凯梅尔;M·F·艾米;K·V·S·R·基肖尔;G·S·克莱顿;O·C·布姆豪尔;P·萨克尔 |
| 分类号 | H01H59/00(2006.01)I | 主分类号 | H01H59/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人 | 张雪梅;蒋 骏 |
| 主权项 | 1. 一种MEMS开关30、50、60、70、80，包括：衬底32；耦接到该衬底32的活动致动器33、63、83；衬底接触35、85；衬底电极36、56、86；和导电停止器39、59、69、79，其电耦接到该活动致动器33、63、83并被构造为，防止该活动致动器33、63、83与衬底电极36、56、86接触，但允许该活动致动器33、63、83与衬底接触35、85形成接触。 | ||
| 地址 | 美国纽约州 | ||