| 发明名称 | 一种12英寸硅片腐蚀机上装硅片用花篮 | ||
| 摘要 | 一种12英寸硅片腐蚀机装硅片用花篮，它包括：(1)正四边形的花篮主体；(2)位于花篮主体上方、并与花蓝主体相接的支架，支架上装有用来防止腐蚀过程中硅片飘出花篮的阻挡杆。硅片采用横放的方式，每次花篮装一片硅片进行腐蚀，可以改善硅片TTV。花篮采用四个边中部各设一个支撑在硅片下方的支撑片，硅片和花篮采用点接触的方式，从而可以减少腐蚀过程中硅片与花篮的接触面积，让硅片腐蚀后减少硅片产生腐蚀印的几率。本实用新型结构简单，节约材料，同时制作工艺简单。 | ||
| 申请公布号 | CN201309966Y | 申请公布日期 | 2009.09.16 |
| 申请号 | CN200820124483.6 | 申请日期 | 2008.12.11 |
| 申请人 | 北京有色金属研究总院;有研半导体材料股份有限公司 | 发明人 | 陈海滨;库黎明;葛钟;索思卓;黄军辉;张国栋;盛方毓;闫志瑞 |
| 分类号 | C23F1/08(2006.01)I | 主分类号 | C23F1/08(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京北新智诚知识产权代理有限公司 | 代理人 | 郭佩兰 |
| 主权项 | 1.一种12英寸硅片腐蚀机上装硅片用花篮，其特征在于：它包括以下几部分：(1)正四边形的花篮主体；(2)位于花篮主体上方、并与花蓝主体相接的支架，支架上装有用来防止腐蚀过程中硅片飘出花篮的阻挡杆。 | ||
| 地址 | 100088北京市新街口外大街2号 | ||