细微图案光罩及其制造方法、及使用其之细微图案形成方法

摘要

提供以简便且高量产性可制造细微图案的细微图案形成方法。在被加工膜上形成第一凸图案，在该凸图案的凸部侧壁形成由含有聚矽氮烷的树脂组成物所形成的间隔物，以该间隔物或在间隔物的周围所配置的树脂层当作光罩来形成细微图案。间隔物系藉由仅在第一凸图案的附近，使经均匀涂布的树脂组成物硬化而形成，与通常的图案形成方法相比，系可形成非常细微尺寸的图案。