| 发明名称 | 服务器装置、信息处理方法及程序 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种服务器装置，在进行了配方内容的变更的情况下，进行该变更相关的注意唤起。服务器装置(20)具备：至少存储有在制造装置中所使用的配方的配方存储部(24)；在制造装置的配方内容被变更的情况下接收变更后的配方的配方接收部(23)；将配方接收部(23)接收到的配方保存在配方存储部(24)中的配方保存部(25)；构成配方内容的变更相关的信息即变更信息的变更信息构成部(27)；存储表示变更信息的发送目的地的信息即发送目的地信息的发送目的地信息存储部(28)；从发送目的地信息存储部(28)取得发送目的地信息的发送目的地信息取得部(29)；向发送目的地信息取得部(29)所取得的发送目的地信息所表示的发送目的地，发送变更信息构成部(27)所构成的变更信息的变更信息发送部(30)。 | ||
| 申请公布号 | CN101536150A | 申请公布日期 | 2009.09.16 |
| 申请号 | CN200780041166.6 | 申请日期 | 2007.10.31 |
| 申请人 | 东京毅力科创株式会社 | 发明人 | 山本智子 |
| 分类号 | H01L21/02(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/02(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人 | 李 伟;舒艳君 |
| 主权项 | 1. 一种服务器装置，其构成群管理系统，该群管理系统具备一个以上对待处理基板进行规定的半导体处理的制造装置、与该一个以上的制造装置连接的服务器装置，该服务器装置具备：配方存储部，其至少存储有在所述一个以上的制造装置中被使用的配方；配方接收部，其在所述制造装置的配方内容被变更的情况下，接收变更后的配方；配方保存部，其将所述配方接收部接收到的配方保存在所述配方存储部中；变更信息构成部，其构成配方内容的变更相关的信息即变更信息；发送目的地信息存储部，其存储表示所述变更信息的发送目的地的信息即发送目的地信息；发送目的地信息取得部，其从所述发送目的地信息存储部中取得发送目的地信息；以及变更信息发送部，其向所述发送目的地信息取得部取得的发送目的地信息所表示的发送目的地，发送由所述变更信息构成部构成的变更信息。 | ||
| 地址 | 日本东京都 | ||