压力控制系统

摘要

本发明公开了一种压力控制系统，包括多个压力传感器和压力控制装置，所述压力控制装置包括计算机和压力控制器，计算机对多个压力传感器的检测结果进行校正，并将校正后的检测结果传给压力控制器；计算机还根据预先设定的压力设置值选择有效的压力传感器，并将选择的结果传给压力控制器；压力控制器根据计算机所选择的有效的压力传感器，及校正后的检测结果实现对反应室的压力控制。简单、实用，既能够利用多个压力传感器连续检测并控制反应室内压力，又能够校正不同压力传感器相互切换时的误差。适用于压力要求较严格的场合，尤其适用于半导体晶片蚀刻设备，也适用于其它场合。

主权项

1、一种压力控制系统，包括多个压力传感器，用于检测反应室的压力，还包括压力控制装置，用于根据多个压力传感器的检测结果实现对所述反应室的压力控制，其特征在于，所述的压力控制装置首先对多个压力传感器的检测结果进行校正，消除多个压力传感器的检测结果之间的误差；之后，从所述多个压力传感器中选择有效的压力传感器，并根据校正后的检测结果实现对所述反应室的压力控制。