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发明名称 MEMS RESONATOR ARRAY STRUCTURE AND METHOD OF OPERATING AND USING SAME
摘要
申请公布号 EP1900095(B1) 申请公布日期 2009.09.16
申请号 EP20060770771 申请日期 2006.05.19
申请人 ROBERT BOSCH GMBH 发明人 LUTZ, MARKUS;PARTRIDGE, AARON;PAN, ZHIYU
分类号 H03H9/02;H03H9/24;H03H9/46;H03H9/50 主分类号 H03H9/02
代理机构 代理人
主权项
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