电浆处理装置

摘要

本发明之目的在于提供一种可高效率地利用所产生之电浆的电浆处理装置。本发明的电浆处理装置10，其特征在于包括：真空容器11；天线（电浆产生手段）支持部12，系设置成向真空容器11的内部空间111突出；以及高频天线（电浆产生手段）13，系安装于天线支持部12。藉此，安装高频天线之部分的面积变小，电浆的利用效率提高。