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发明名称
摘要
申请公布号	JP4330851(B2)	申请公布日期	2009.09.16
申请号	JP20020208904	申请日期	2002.07.17
申请人		发明人
分类号	H01L21/318;H01L21/331;H01L21/338;H01L29/201;H01L29/737;H01L29/778;H01L29/812	主分类号	H01L21/318
代理机构		代理人
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