发明名称 飞秒激光制备金属表面超疏水微结构的方法
摘要 本发明公开了一种飞秒激光制备金属表面超疏水微结构的方法,该方法利用飞秒激光辐射场在金属靶材表面上制备超疏水周期性微/纳米结构。金属表面周期性微/纳米结构制备时先将金属靶材固定在二维精密位移台上,然后将一束飞秒激光经物镜或透镜聚焦,并使之作用于金属靶材上,通过飞秒激光诱导结合二维精密位移台移动,产生微/纳米周期性微结构。本发明具有制备效率高,适用范围广,装置可操控性强,处理得到的周期性金属纳米结构排列整齐、均匀,并可以制备出不同尺寸和图案微/纳米周期性结构。
申请公布号 CN101531335A 申请公布日期 2009.09.16
申请号 CN200910021923.4 申请日期 2009.04.08
申请人 西安交通大学 发明人 陈烽;张东石;杨青;司金海;侯洵
分类号 B81C1/00(2006.01)I;B82B3/00(2006.01)I 主分类号 B81C1/00(2006.01)I
代理机构 西安通大专利代理有限责任公司 代理人 陈翠兰
主权项 1、一种飞秒激光制备金属表面超疏水微结构的方法,其特征在于,将一束飞秒激光经物镜或透镜聚焦辐照在金属靶材上,产生周期性微/纳米微结构,具体步骤如下:选用脉冲宽度为20-300fs、波长325-1200nm的超短脉冲激光,经一物镜或透镜聚焦到放置在二维精密位移台的金属靶材上,超短脉冲激光单脉冲能量10μJ-5mJ、脉冲频率10Hz-100kHz,即在金属靶材上呈现出周期性微/纳米微结构。
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