Rückkopplungssteuer- bzw. -regelsystem und Rückkopplungsverfahren zum Steuern bzw. Regeln des Leistungsverhältnisses von Auflicht

摘要

Ein Rückkopplungssteuer- bzw. -regelsystem und ein Verfahren zum Steuern bzw. Regeln eines TE/TM-Leistungsverhältnisses einer Lichtquelle 10 wird vorgeschlagen. Eine speziell ausgelegte Markierung 20 wird auf der Maske 18 angeordnet. Die Markierung 20 und die Maske 18 werden von Auflicht 11 beleuchtet, das von der Lichtquelle 10 ausgestrahlt wird, und das reflektierte Licht 11" oder das gebrochene Licht 11' des Auflichts 11 wird erfasst, um ein Ausgangssignal zu erzeugen. Dann wird das Signal in einen Polarisierungskonverter 16 eingegeben. Auf diese Weise kann das TE/TM-Polarisationsleistungsverhältnis der Lichtquelle 10 gesteuert werden.