| 摘要 |
Vorgeschlagen wird ein spektroskopisches Ellipsometer (100), welches Daten miteinander vergleichen kann, die unterschiedlich sind hinsichtlich einer Messbedingung. Das spektroskopische Ellipsometer (100) unterstützt das Einstellen eines Anfangswerts für Anpassungsdaten, selbst bei einem unerfahrenen Bediener, z.B. bei einem Anfänger. Das spektroskopische Ellipsometer (100) weist einen Referenzdatenspeicherbereich (D1) zum Speichern von Referenzdaten, die mit Messdaten zu vergleichen sind, einen Umwandlungsvorgangsbereich (73) zum Umwandeln der Messdaten oder der Referenzdaten in vergleichbare Daten derart, dass die Messdaten mit den Referenzdaten verglichen werden können, und einen Vergleichs- und Bestimmungsbereich (74) zum Vergleichen der Messdaten mit den Bezugsdaten, die durch den Umwandlungsvorgangsbereich (73) vergleichbar gemacht wurden, miteinander und zum Bestimmen einer Koinzidenz zwischen den Messdaten und den Referenzdaten auf.
|
