Deckel für Mikro-Systeme und Verfahren zur Herstellung eines Deckels

摘要

Der erfindungsgemäße Deckel dient zur Verkapselung von Mikro-Systemen, wobei der Deckel eine oder mehrere Deckeleinheiten aufweist oder daraus besteht und mindestens eine Deckeleinheit mindestens eine durch Verformung bedingte erste Vertiefung aufweist, die zumindest teilweise durch mindestens ein optisches Fenster, dessen quadratische Oberflächenrauigkeit kleiner/gleich 25 nm ist, begrenzt ist. Des Weiteren ist Gegenstand der Erfindung ein Verfahren zur Herstellung optischer Komponenten, wobei das Verfahren insbesondere auch für die Herstellung eines erfindungsgemäßen Deckels, der eine Verkapselung auf Wafer-Ebene ermöglicht, geeignet ist.