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发明名称 VORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUM TRANSFERIEREN EINES WERKSTÜCKES
摘要
申请公布号 DE60037515(T2) 申请公布日期 2009.09.10
申请号 DE20006037515T 申请日期 2000.07.12
申请人 FSI INTERNATIONAL INC. 发明人 WAGENER, THOMAS J.;PATRIN, JOHN C.;INHOFER, WILLIAM P.;SIEFERING, KEVIN L.
分类号 H01L21/00;H01L21/304;H01L21/677 主分类号 H01L21/00
代理机构 代理人
主权项
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