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发明名称 Herstellungsverfahren und Herstellungsvorrichtung zum Vermeiden eines Prototypen-Aufschubs bei der ASIC/SOC-Herstellung
摘要
申请公布号 DE10392497(T5) 申请公布日期 2005.02.17
申请号 DE20031092497T 申请日期 2003.04.11
申请人 ADVANTEST CORP., TOKIO/TOKYO 发明人 RAJSUMAN, ROCHIT;YAMOTO, HIROAKI
分类号 H01L21/822;G01R31/28;G01R31/317;G01R31/3183;G01R31/319;G06F17/50;G06F19/00;H01L21/02;H01L21/82;H01L27/04;H01L27/118;(IPC1-7):H01L21/02 主分类号 H01L21/822
代理机构 代理人
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