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经营范围
发明名称
apparatus for making etching area on substrate
摘要
申请公布号
KR100916298(B1)
申请公布日期
2009.09.10
申请号
KR20070117545
申请日期
2007.11.16
申请人
发明人
分类号
H01L21/02;H01L21/304;H01L21/56
主分类号
H01L21/02
代理机构
代理人
主权项
地址
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