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发明名称
摘要
申请公布号
JP2009532910(A)
申请公布日期
2009.09.10
申请号
JP20090504316
申请日期
2007.04.05
申请人
发明人
分类号
H01L21/8247;G11C16/02;G11C16/04;H01L27/115;H01L29/788;H01L29/792
主分类号
H01L21/8247
代理机构
代理人
主权项
地址
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