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发明名称
摘要
申请公布号	JP4327383(B2)	申请公布日期	2009.09.09
申请号	JP20010220262	申请日期	2001.07.19
申请人		发明人
分类号	C23C16/44;H01L21/22;C23C16/46;H01L21/205	主分类号	C23C16/44
代理机构		代理人
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