| 发明名称 | 晶片背面定位系统 | ||
| 摘要 | 本发明提出了一种晶片背面定位系统，包括至少两组光学显微系统，上述至少两组光学显微系统分别置于待观测目标的正面和背面，位于晶片正面和背面的光学显微系统互相对准，随相对应的光学显微系统移动而移动。本发明的有益效果在于，由于可以在晶片正面和背面都进行定位，所以可以更精确地找出异常Emission/OBIRCH的位置，可以更便于进行分析。 | ||
| 申请公布号 | CN101527275A | 申请公布日期 | 2009.09.09 |
| 申请号 | CN200810008081.4 | 申请日期 | 2008.03.06 |
| 申请人 | 和舰科技（苏州）有限公司 | 发明人 | 宋朝刚;钱晓春;孔亮;周浩 |
| 分类号 | H01L21/68(2006.01)I;H01L21/66(2006.01)I;G01R31/26(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/68(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京连和连知识产权代理有限公司 | 代理人 | 张春媛 |
| 主权项 | 1.一种晶片背面定位系统，其特征在于，包括至少两组光学显微系统，上述至少两组光学显微系统分别置于待观测目标的正面和背面，位于晶片正面和背面的光学显微系统随对应的光学显微系统移动而移动，并在移动过程中互相对准。 | ||
| 地址 | 215025江苏省苏州市苏州工业园区星华街333号 | ||