货盘搬运装置及基板检查装置

摘要

本发明提供一种货盘搬运装置及基板检查装置。本发明的货盘搬运装置除了使支持基板的货盘进行移动的机构以外，还包括使货盘沿着上下方向而移动的升降机构。升降机构具有冲击缓和机构，用于缓和在升降动作中对货盘上所支持的基板施加的冲击。在基板受到来自货盘的冲击的动作时，本发明的冲击缓和机构藉由控制升降机构的升降动作，而缓和在货盘所支持的基板上所施加的冲击。冲击缓和机构可切换升降机构的驱动速度，并在升降机构的动作开始时和动作结束前此二个时间的至少一个时间，将驱动速度切换为低速，且将除了低速期间以外的驱动期间的驱动速度切换为高速。

主权项

1、一种货盘搬运装置，为一种使支持基板的货盘进行移动的货盘搬运装置，其特征在于，包括使前述货盘沿着上下方向而移动的升降机构，前述升降机构具有冲击缓和机构，用于缓和在该升降机构的动作中对货盘上所支持的基板所施加的冲击，且该冲击缓和机构对升降机构的动作进行控制。