| 发明名称 | 固体摄像装置及其制造方法 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种固体摄像装置及其制造方法，该固体摄像装置包括：光电转换部，其用于将入射光转换为信号电荷；传输晶体管，其用于从光电转换部读取信号电荷并传输信号电荷；以及放大晶体管，其用于放大由传输晶体管读取的信号电荷，其中，在放大晶体管上形成具有压缩应力的压缩应力膜。所述固体摄像装置可抑制放大晶体管的1/f噪声中的波动的增加。于是，由于可以抑制信噪比的降低，因此可通过实现高信噪比而获得很好的图像质量。 | ||
| 申请公布号 | CN101527312A | 申请公布日期 | 2009.09.09 |
| 申请号 | CN200910127202.1 | 申请日期 | 2009.03.05 |
| 申请人 | 索尼株式会社 | 发明人 | 荒川伸一 |
| 分类号 | H01L27/146(2006.01)I;H01L21/82(2006.01)I;H01L21/31(2006.01)I;H01L21/3105(2006.01)I;H01L21/265(2006.01)I;H01L21/268(2006.01)I | 主分类号 | H01L27/146(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京信慧永光知识产权代理有限责任公司 | 代理人 | 褚海英;武玉琴 |
| 主权项 | 1.一种固体摄像装置，其包括：光电转换部，其用于将入射光转换为信号电荷；传输晶体管，其用于从所述光电转换部读取所述信号电荷并传输该信号电荷；以及放大晶体管，其用于放大由所述传输晶体管读取的所述信号电荷，其中，在所述放大晶体管上形成有具有压缩应力的压缩应力膜。 | ||
| 地址 | 日本东京 | ||