一种二等量块接触式激光干涉仪

摘要

一种二等量块接触式激光干涉仪，包括激光干涉系统、定位计数系统、环境参数测量系统和计算机，在激光干涉系统中He-Ne激光器连接激光稳频器，激光稳频器水平前方设有第一转向棱镜，第一转向棱镜竖直下方依次设有光栏、准直光管、第二转向棱镜、移相分光镜、参考镜，第二转向棱镜左右水平两侧分别设有两个第一光电转换器，移相分光镜水平一侧设有转向镜，转向镜竖直下方依次设有定位控制器、测量棱镜、光电控制测力稳定传感器和测头，与移相分光镜设有转向镜相对的一面水平设有第二光电转换器。本实用新型的优点是直接测量、自动采集、反馈、读数、精度高、稳定性好、无需量块与平晶研合来、操作简单。

主权项

1、一种二等量块接触式激光干涉仪，包括激光干涉系统、定位计数系统、环境参数测量系统和计算机，其中激光干涉系统连接定位计数系统，定位计数系统和环境参数测量系统同时连接计算机，定位计数系统中光电转换器连接相位调整模块，相位调整模块的另一侧分别连接干涉条纹整数计数板和干涉条纹小数计数板，干涉条纹整数计数板和干涉条纹小数计数板的另一端连接计算机，计算机的输出端分别连接驱动电机和定位控制器，驱动电机和定位控制器的另一端连接激光干涉系统；环境参数测量系统中温度传感器、湿度传感器和气压传感器分别连接计算机，其特征在于：所述的激光干涉系统包括He-Ne激光器、激光稳频器、第一转向棱镜、光栏、准直光管、第二转向棱镜、移相分光镜、参考镜、转向镜、测量棱镜、光电控制测力稳定传感器、测头，He-Ne激光器连接激光稳频器，激光稳频器水平前方设有第一转向棱镜，第一转向棱镜竖直下方依次设有光栏、准直光管、第二转向棱镜、移相分光镜、参考镜，第二转向棱镜左右水平两侧分别设有两个定位计数系统中的第一光电转换器，移相分光镜水平一侧设有转向镜，转向镜竖直下方依次设有定位计数系统中的定位控制器、测量棱镜、光电控制测力稳定传感器和测头，与移相分光镜设有转向镜相对的一面水平设有定位计数系统中的第二光电转换器。