使阻隔壁厚度均匀化的方法

摘要

一种使阻隔壁厚度均匀化的方法，其步骤包括利用多次堆叠印制方式形成多个阻隔层，对每次印制后的阻隔层进行第一预烤加工，对最后一阻隔层进行第二预烤加工，通过一均匀化平板对最后一阻隔层表面实施平整化加工，最后通过一烧结加工以固化该等阻隔层，而形成一阻隔壁结构，借此所形成的阻隔壁厚度呈现均匀化。

主权项

1、一种使阻隔壁厚度均匀化的方法，其特征在于，包括下列步骤：(a)通过一印制方式，将一阻隔层形成于一基板上；(b)通过一第一预烤加工，使该阻隔层表面产生塑性化；(c)通过印制方式，将另一阻隔层堆叠于该阻隔层上；(d)通过该第一预烤加工，使该另一阻隔层表面产生塑性化；(e)重复步骤(c)、(d)，以重复堆叠出多个阻隔层；(f)通过一第二预烤加工，使最后一层阻隔层表面产生塑性化；(g)利用一均匀化的平板对最后一层阻隔层的表面施压一力量，使最后一层阻隔层表面平整化；以及(h)通过一烧结加工以固化该等阻隔层，而形成一阻隔壁结构；借由上述步骤(a)至(h)使该阻隔壁结构厚度得以均匀化。