平衡多层基板应力之方法及多层基板结构

摘要

本发明揭示一种平衡多层基板应力之方法，当多层基板具有第一及第二金属层，第一金属层之第一面积大于第二金属层之第二面积，可于第二金属层所处位置层设置冗余金属层，使冗余金属层面积加上第二面积相当于第一面积，亦可于第一金属层中设置冗余空间，使第一面积减去冗余空间面积后与第二面积相当。当多层基板具有第一及第二介电层，第一介电层具有开孔时，可于第二介电层，于对应第一介电层开孔之位置设置冗余开孔。本发明用以平衡多层基板之应力，亦即使多层基板不同金属层或介电层所占面积及位置相对地均质化，避免翘曲。