多晶矽结构及其制造装置

主权项

1.一种多晶矽之制造装置，系至少包含有：坩锅，坩锅当中系容置有矽原料，并且掺入硼和铟之掺杂粒子、或掺入硼和镓之掺杂粒子、或者掺入硼和铟和镓之掺杂粒子；不活性气体之提供组件，该不活性气体之提供组件系设于该坩锅上方，可将不活性气体置入坩锅中，在不活性气体气氛下将所有矽原料加热成为融浆，使所有掺杂粒子与矽融浆确实混合，待矽原料由坩锅底部冷却结晶即成型。图式简单说明：第一图系为本创作中多晶矽之制造装置之结构示意图。第二图系为本创作中多晶矽第一实施例之结构示意图。第三图系为本创作中多晶矽第二实施例之结构示意图。第四图系为本创作中多晶矽第三实施例之结构示意图。