用于矽制造之废气回收

摘要

本发明将来自多晶矽反应器之废气引导至气体分离膜，使渗透气体再循环至该反应器，且用低温冷凝器使用液态冷却剂冷却保留物。由该热废气汽化之液态冷却剂可被储存或用于密封及/或冷冻该反应器或毯覆对SiHCl#sB!3#eB!反应器之Si进料。